Усули бухоршавии чӯби электронӣ як навъ қабати бухоршавии вакуумӣ мебошад, ки чӯбҳои электрониро барои мустақиман гарм кардани маводи бухоршавӣ дар шароити вакуум, бухор кардани маводи бухоршавӣ ва интиқоли он ба субстрат ва конденсатсия дар субстрат барои ташаккули филми тунук истифода мебарад. Дар дастгоҳи гармидиҳии шуои электронӣ моддаи гармшуда дар як тигели об хунукшуда ҷойгир карда мешавад, ки он метавонад реаксияи байни маводи бухоршавӣ ва девори тигельро пешгирӣ кунад ва ба сифати плёнка таъсир расонад. Барои ноил шудан ба бухоршавӣ ва таҳшиншавии моддаҳои гуногун дар дастгоҳ якчанд тигелҳоро ҷойгир кардан мумкин аст. Бо бухоршавии шуои электрон, ҳама гуна маводро бухор кардан мумкин аст.
Бухоршавии шуои электрон метавонад маводи нуқтаи обшавии баландро бухор кунад. Дар муқоиса бо муқовимати умумии бухоршавии гармидиҳӣ, он дорои самаранокии гармии баланд, зичии ҷараёнҳои чӯбӣ ва суръати тезтар бухоршавӣ мебошад. Плёнка ва плёнкаи материалхои гуногуни оптикй, ба монанди шишаи гузаронанда.
Хусусияти бухоршавии шуои электронӣ дар он аст, ки он ду тарафи сохтори сеченакаи мақсаднокро намепӯшонад ё хеле кам ва одатан танҳо дар сатҳи ҳадаф ҷамъ мешавад. Ин фарқи байни бухоршавии шуои электронӣ ва пошидан аст.
Бухоршавии шуои электронӣ одатан дар соҳаи тадқиқоти нимноқилҳо ва саноат истифода мешавад. Энергияи электронии суръатёфта барои зарба задан ба ҳадафи моддӣ истифода мешавад, ки ҳадафи моддӣ бухор мешавад ва боло меравад. Дар ниҳоят ба ҳадаф супорида шуд.
Вақти фиристодан: Декабри 02-2022